Yo tuve muchísimos errores como el tuyo, quería instalar PHP, MySQL y Apache. Pero al hacerlo por separado, normalmente me daba errores una y otra vez. Al final lo que hice fue instalarlo todo a la vez con un instalador que te instala todo lo dicho y más. Me lo descargé de internet se llama Foxserv y nunca me ha dado problemas. Te dejo el link:
http://www.foxserv.net/portal.php
Hasta otra!!!!