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[chwc]

vas por muy buen camino !
solo tenes que agregarle el evento onchange a las provincias

Código Javascript:

var xhr; 
function ajaxpais(){ 
    var pais=document.getElementById('paises').value 
    xhr=getXHR(); 
    xhr.open("GET","ajax_paises.php?paisid="+pais); 
    xhr.onreadystatechange=callback; 
    xhr.send(); 
} 
function callback(){ 
    if(xhr.readyState==4){ 
        if(xhr.status==200){ 
            document.getElementById("ciudades").innerHTML=xhr.responseText; 
document.getElementById("ciudades").onchange = function(){
ajaxciudades();
}
        } 
    } 
} 
 
function ajaxciudades(){
 var ciudad=document.getElementById('ciudades').value 
    xhr=getXHR(); 
    xhr.open("GET","ajax_ciudades.php?ciudadid="+ciudad); 
    xhr.onreadystatechange=callbackCiudad; 
    xhr.send(); 
 
}
 
function callbackCiudad(){
if(xhr.readyState==4){ 
        if(xhr.status==200){ 
            document.getElementById("localidad").innerHTML=xhr.responseText; 
        } 
    } 
 
}
 

lo que si localidades debe existir, y haces algo parecido a ajax_paises, pero con ajax_ciudades xhr.open("GET","ajax_ciudades.php?ciudadid="+ciuda d);

no se si el codigo tira errores, pero fijate lo basico de como funciona, que es que le agrege el evento onchange a "ciudades", y cree una funcion muy parecida para las ciudades a la de los paises

eso si, todo esto lo vuelvo en "localidad"

un saludo !!