Esto no es cuestión de html5
El problema no es solo del juego de caracteres declarado en el meta sino también de los encabezados (del server) que esté recibiendo tu página y como haya sido guardado el archivo en tu editor de texto.
Los 3 deben de ser coincidentes
Yo en particular utilizo utf-8 ya que da soporte a muchos más caracteres, pero si solo es el caso de
ä á Á é Í ó ü Ñ ñ
no es necesario utilizar entidades html, iso-8859-1 los soporta perfectamente
Ejemplo
http://foros.emprear.com/html/iso.html
Habría que verificar tu url para analizar en detalle dónde está el error
Saludos