Hola:
El fichero php debe tener la cabecera xml (header), y el contenido más o menos:
<?xml ... ?>
<listado>
<campo1>$campo1</campo1>
<campo2>$campo2</campo2>
<campo3>$campo3</campo3>
</listado>
Por último la recepción se hace con Ajax.responseXML.
Saludos