Me imagino que estás ocupando los objetos Interpo de Excel, si es así, ese debe a que cada vez que se crea el documento no se están cerrando los objetos y por lo tanto se quedan los procesos activos causando que cuando se genere otro documento se genere otro proceso y así sucesivamente
Se debe hacer algo como ésto para limpiar los objetos, suponiendo el siguiente escenario
Código:
...
Excel.Application oExcelApp;
Excel._Workbook oWorkBook;
Excel._Worksheet oSheet;
...
...
//CODIGO
...
//Limpiar todos los objetos
oWorkBook.Close(null,null,null);
oExcelApp.Workbooks.Close();
oExcelApp.Quit();
System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject (oExcelApp);
System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject (oSheet);
System.Runtime.InteropServices.Marshal.ReleaseComObject (oWorkBook);
oSheet=null;
oWorkBook=null;
oExcelApp= null;
GC.Collect(); //
Nota. Deben ir en ese órden
Saludos y espero que les sirva