Intentalo como pone aqui:
http://support.microsoft.com/kb/908077/es
Si no lo consigues, se me ocurre que quizas no tengas permisos para crear ese directorio en el pc en el que intentas instalar. Si no es así, también puede estar corrupto el sistema de instalación, en ese caso podrías probar tratando de instalar mejor el framework 3.5, que está más actualizado e incluye jugosas novedades.