no deberías usarlos en los nombre de archivos por las complicaciones entre el navegador, idiomas web y servidor como ello interpretan letras fuera de lo comunes puede diferenciar. Esto te puede causar mas problemas de lo que quieres por eso yo opto por no usarlos.
Ahora en tu caso si el archivo esta escrito cami%f3n.php entonces tu enlace debe ser <a href="cami%f3n.php">Enlace</a>