10 ultimas fechas de cada elemento

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Hola, tengo una tabla con mediciones hechas en distintas fechas para una serie de elementos. ENTITYID y FECHAHORA son la PK de la tabla.

Necesito una query que me de las 10 ultimas fechas en que hubo medicion en cada elemento ENTIYID, es decir, me dara 10 filas (o menos si hubo menos de 10 mediciones) por cada elemento.

Tengo esta query:

Código:

SELECT ENTITYID, 
          TO_CHAR(FECHAHORA, 'DD/MM/YYYY HH24:MI') AS FECHA
    FROM MEDICION_CALIDAD M1 
   WHERE M1.FECHAHORA IN (SELECT M2.FECHAHORA 
                            FROM MEDICION_CALIDAD M2 
                           WHERE M2.ENTITYID = M1.ENTITYID AND ROWNUM <= 10)
  ORDER BY M1.FECHAHORA DESC

El problema es que dentro de la subquery no me deja hacer "ORDER BY FECHAHORA DESC" (me dice MISSING RIGHT PARENTESSIS), y el ROWNUM no me asegura que selecciona las 10 ultimas fechas, de hecho selecciona las fechas un poco al azar.

Tiene que resolverse en una sola query, ya que es para definir una vista.